金刚石单晶中硼分布的优化研究
DOI: https://doi.org/10.64083/STE2511006
作者
康如威，王帅，姬涛涛，王应
摘要
硼在金刚石中的分布将直接影响金刚石功能特性。本研究中，高温高压条件下采用温度梯度法沿[111]和[100]晶向分别合成了硼掺杂金刚石。Raman测试表明，所合成金刚石对应的Raman特征峰均位于1330cm-1处附近且在1350cm-1处无石墨峰出现。基于Raman测试结果，分别计算了金刚石内部的应力在555-937MPa之间。硼在[111]晶向生长的金刚石内部分布相对均匀，然而在[100]晶向生长的金刚石中分布极为不均匀。二次离子质谱(SIMS)测试表明，合成腔体中B2S3添加剂可以优化[100]晶向金刚石中硼的分布，这为金刚石在半导体领域的应用提供了基础。
关键词
高温高压；金刚石；硼杂质；分布；优化
